1. 蒸餾水：就是將水蒸餾、冷凝的水，蒸二次的叫重蒸水，三次的叫三蒸水。有時候為了特殊目的，在蒸前會加入適當試劑，如為了無**，會在水中加酸；低耗氧量 的水，加入高錳酸鉀與酸等。工業(yè)蒸餾水是采用蒸餾水方法取得的純水，一般普通蒸餾取得的水純度不高，經過多級蒸餾水，出水才可達到很純，成本相對比較高。

　　2. 去離子水：就是將水通過陽離子交換樹脂（常用的為苯乙烯型強酸性陽離子交換樹脂），則水中的陽離子被樹脂所吸收，樹脂上的陽離子H+被置換到水中，并和水 中的陽離子組成相應的無機酸；含此種無機酸的水再通過陰離子交換樹脂（常用的為苯乙烯型強堿性陰離子）OH-被置換到水中，并和水中的H+結合成水，此即 去離子水。去離子水在現(xiàn)代工業(yè)中有著非常廣泛的用途，使用去離子水，是我國很多行業(yè)提高產品質量的，趕超世界先進水平的重要手段之一。 由于去離子水中的離子數(shù)可以被人為的控制，從而，使它的電阻率、溶解度、腐蝕性、病毒**等物理、化學及病理等指標均得到良好的控制。在工業(yè)生產及實驗室 的實驗中，如果涉及到使用水的工藝都被使用了去離子水，那么，許多參數(shù)會更接近設計或理想數(shù)據(jù)，產品質量將變得易于控制。

　　3. 高純水：就是指化學純度極高的水，其主要應用在生物、化學化工、冶金、宇航、電力等領域，但其對水質純度要求相當高，所以一般應用較普遍的還是電子工業(yè)。 例如電力系統(tǒng)所用的純水，要求各雜質含量低達到“微克/升”級。在純水的制作中，水質標準所規(guī)定的各項指標應該根據(jù)電子(微電子)元器件(或材料)的生產 工藝而定(如普遍認為造成電路性能**的顆粒物質的尺寸為其線寬的1/5-1/10)，但由于微電子技術的復雜性和影響產品質量的因素繁多，至今尚無一份 由工藝試驗得到的適用于某種電路生產的完整的水質標準。不過近年來電子級水標準也在不斷地修訂，而且高純水分析領域的許多突破和發(fā)展，新的儀器和新分析方 法的不斷應用都為制水工藝的發(fā)展創(chuàng)造了條件。高純水的國家標準為：GB1146.1-89至GB1146.11-89[168]，目前我國高純水的標準將 電子級水分為五個級別：Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級、Ⅳ級和Ⅴ級，該標準是參照ASTM電子級標準而制定的。

　　4. 超純水則可以認為是一般工藝很難達到的程度，如水的電阻率大于18MΩ*cm（沒有明顯界線），則稱為超純水。關鍵是看你用水的純度及各項征性指標，如電導率或電阻率，PH值，鈉，重金屬，二氧化硅，溶解有機物，微粒子，以及微生物指標等。